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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コ-ティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00562453>
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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コ-ティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00562453>
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No. 巻号 所蔵館 配架場所 請求記号 資料ID 注記 状態 返却予定日 予約
0001 豊橋図書館 豊図第1書庫3階 #431.81:1 8711551501
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No. 0001
巻号
所蔵館 豊橋図書館
配架場所 豊図第1書庫3階
請求記号 #431.81:1
資料ID 8711551501
注記
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コ-ティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 ix, 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末:参考文献
注記 一般参考書:p226
学情ID BN00164488
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)
キンバラ, アキラ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 薄膜||ハクマク
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